MicroE光栅尺

高响应、高加速、低质量线圈。无齿槽效应、零磁滞。结构简单、质量轻、高频响应、运行平滑。行程：1mm-60mm推力：0.5N-3000N广泛应用在医疗、半导体、航空航天、阀门控制、振动平台及自动化工业零域。模块化设计，可加工定制。

动子线圈质量轻，响应时间短、频率高。行程短，结构紧凑。行程1mm-20mm峰值推力1N-300N常用于制作x-y轴运动平台。广泛应用在半导体、微型机床工业领域。模块化设计，可加工定制。

动子线圈质量轻，响应时间短、频率高。行程长，有效行程1mm-200mm推力大，峰值推力1N-800N常用于制作x-y轴运动平台。广泛应用在半导体、微型机床工业领域。模块化设计，可加工定制。